Russian Microelectronics
ISSN:1063-7397

Russian Microelectronics

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基本信息

俄罗斯微电子学涵盖微电子学和纳电子学的物理、技术和某些超大规模集成电路和超大规模集成电路技术方面;它告诉读者亚微米光学、X射线、电子和离子束光刻技术的新趋势;干法处理技术、蚀刻、掺杂;和平坦化技术。主要讨论质子束、电子束、离子束、等离子体等应用中出现的问题。对新设备进行了研究,包括集群工具和原位控制以及亚微米CMOS、双极和BICMOS技术。该杂志发表的论文解决问题的分子束外延和有关的过程;异质结器件和集成电路;纳米电子技术与器件;以及纳米尺度器件的制造,包括新器件结构、量子效应器件和超导器件。读者将发现包含表面和微电子结构诊断、微电子和纳米电子技术过程和设备建模(包括纳米晶体管)和固态量子位的新闻的论文。
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----Materials Science-Materials Chemistry
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SJR:0.194
SNIP:0.401
学科类别分区排名百分位
大类:Engineering
小类:Electrical and Electronic Engineering
Q4
790 / 970
大类:Engineering
小类:Materials Chemistry
Q4
283 / 324
大类:Engineering
小类:Electronic, Optical and Magnetic Materials
Q4
271 / 305
大类:Engineering
小类:Condensed Matter Physics
Q4
404 / 443

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